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电子级超纯水设备-工业电子用水标准和工艺


     
      中国国家电子超纯水规格GB/T1146.1-1997电子级水的技术指标应符合表中的规定。

级别/指标 

EW-I

EW-II

电阻率MΩ.cm25℃)

18以上(95%时间)不低于17

1595%时间)不低于13

硅≤g/l

2

10

>1M微粒数≤个/ml

0.1

5

细菌个数≤个/ml

0.01

0.1

铜≤g/l

0.2

1

锌≤g/l

0.2

1

镍≤g/l

0.1

1

钠≤g/l

0.5

2

钾≤g/l

0.5

2

氯≤g/l

1

1

硝酸根≤g/l

1

1

磷酸根≤g/l

1

1

硫酸根≤g/l

1

1

总有机碳≤g/l

20

100


      电子级超纯水设备常用工艺(水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)
      1.预处理-反渗透- 水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象 
      2.预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 
      3.预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化系统水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 
      4.预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

电子级超纯水设备-工业电子用水标准和工艺


电子级超纯水设备应用场合:
1.GMP纯化水半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
2.超纯材料和超纯化学试剂;
3.实验室和中试车间;
4.汽车表面抛光处理

5.其他高科技精微产品。



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