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气体质量流量控制器MFC3100A

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产品型号: MFC3100A
制造商: 韩国
产品展商: 韩国

如果您对该产品感兴趣的话,可以

简单介绍
气体质量流量控制器MFC3100A,控制范围:30slpm ~ 125slpm ,采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿。气体质量流量控制MFC3100A是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体流量的稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确地控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微的变化,也不会影响其正常的工作。

气体质量流量控制器MFC3100A

   的详细介绍

 

气体质量流量控制器MFC3100A产品亮点:

 

-    型:MFC气体质量流量控制器

-控制范围:30slpm 125slpm  (sccm:标准毫升/ slpm:标准升/) 

-准度等级: ±1% F.S

-    压:≤70bar

-标准接口:0-5VDC4-20mA可选

-响应时间:≤2sec

-使用范围:2~100% for max range

-供电电源:+15~+28Vdc, 350Ma

-    率:1×10-9atm·cc/sec

-气路连接:1/4”SWG1/8”SWG3/8”SWG1/4”VCR

-适用介质:所有气体(含腐蚀性气体和有毒气体)

-无需温度、压力补偿

 

气体质量流量控制器MFC3100A

 

产品型号
MFC3100V
MFC3100A
  流量范围 (N2)
30slpm ~ 125slpm
 30slpm ~ 125slpm
  响应时间
 ≤2
  ≤2
  准确度
  ≤±1% 满量程
  ≤±1% 满量程
 重复精度
  ≤±0.25% 满量程
 ≤±0.25% 满量程
 输出输入信号
 0~5Vdc
  0~5Vdc或4~20毫安
  供电
 +15~+28Vdc,350毫安
  +15~+28Vdc,350毫安
 耐压
  ≤70 bar
 ≤70 bar
 工作环境温度
  0~50 °C
  0~50 °C

应用领域:
-分析仪器     -干刻(RIE/DRIE     -燃料电池
-生物技术     -气相色谱分析         -等离子刻蚀
-激光焊机     -混气配气系统         -微反应装置
-真空镀膜     -过程自动化           -石化工业

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